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工控人家園 綜合討論 超高真空環境內用什么發熱元件加熱到800度左右，用什么材料精準測溫

張平全

為國出力的時候到了

級別: 家園�？�

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樓主發表于: 2020-07-12 05:42

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我們做的是晶體生長行業超高真空設備，需要在超高真空4.0E-11Torr環境內把指甲大小，厚度約0.2mm產品加溫到800度左右，普通的發熱管，發熱片是不行的，如果有接觸到這類國外設備的朋友們，請提供參考
由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國家級的一個小技術項目開發，在國外這是幾十年前就有的技術，但國內還處于空白狀態，我們需要從零開始奮起直追，希望得到以下技術參考，謝謝

由于在回復大家的信息過程中，出現了多次360退出及信息被轉移的情況，有些信息我不再回復祥細技術內容，請理解

[ 此帖被張平全在2020-07-15 23:40重新編輯 ]

tkggtdkjpl

工欲善其事，必先利其器！

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1樓發表于: 2020-07-12 19:20

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補充7樓等離子加熱

樓主留言：

真誠感謝！
電子束，射頻等我們都有試驗體，這兩種方案對產品傷害很大，在顯微鏡下能看到，微觀上對光潔的產品表面造成不可再用的后果，當然溫度也就400多度，我們的目標是產品表面加熱而不是產品整體加熱，所有目前使用的是熱輻射加溫，對流不可以用的，腔體已經達到外太空一樣的潔凈度環境，已試驗偶然能成功，但無法確保穩定重復，一直無法突破，從目前文獻上來看，。。。。。，再加上已知僅氬氣,氦氣對產品無聲無害,

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